Libra諧振式微懸臂梁芯片
RMC-Libra
Libra諧振式微懸臂梁傳感芯片，是利用諧振式微懸臂梁的諧振頻率變化與質量變化之間的定量關系來測量微小質量的工具，具有靈敏度高、體積小、成本低、可集成等優點，通過與不同敏感材料搭配，可制備多種多樣高靈敏的質量型氣敏傳感器，同時也可用于熱力學/動力學參數的測量。
該芯片是微懸臂梁氣敏測試系統和界面熱力學/動力學參數分析儀的核心器件。
產品特點
- 高靈敏度：質量檢測靈敏度優于1.5 pg/Hz*，搭配自主研發的軟件鎖相環電路，可實現低至0.5 pg的超高質量分辨率
- 系統結構簡單：片上集成電熱驅動、壓阻檢測元件，搭配接口電路即可實現閉環檢測，無外置設備
- 點樣便捷：片上敏感區域親水，其余部分疏水，便于氣敏材料精準上載
- 微小尺寸：芯片尺寸低至1.5 mm x 1 mm
技術參數
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指標名稱 |
參數 |
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型號 |
RMC-Libra |
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基底材料 |
單晶硅 |
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尺寸 |
1.5 mm x 1 mm |
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諧振頻率（25℃） |
95.0±5 kHz |
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諧振頻率噪聲（25℃，氮氣下） |
±0.1 Hz以下 |
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質量靈敏度 |
1.0 Hz/pg ± 10% |
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功耗 |
≤25 mW |
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使用溫度 |
-40℃ ~ +120℃ |
應用領域
應用實例
