真空檢測室
真空檢測室，作為安裝微芯片的密封容器，用于為微芯片提供各類測試環(huán)境。具有3個氣體接口，用于連接進出氣管道和真空泵；最高24 pin電連接，用來與安裝在內(nèi)的微芯片進行通訊；高真空度等級，真空度可達10-4 Pa；石英玻璃光學(xué)窗口，可以對其內(nèi)的微芯片進行光學(xué)觀測；316不銹鋼或者鋁合金材質(zhì)，可按需選擇。